半導(dǎo)體凈化車(chē)間設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)范圍包括：裝修方案（圍護(hù)、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險(xiǎn)控制、房間氣體監(jiān)測(cè)、EP級(jí)管道及BA級(jí)管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案等

這個(gè)表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過(guò)程的潔凈等級(jí)要求，要求一般的是光照制造，還有微環(huán)境，其他的一些大的區(qū)域，包括薄膜等在百級(jí)。潔凈度的要求是不是越高越好，這個(gè)主要還是決定我們的設(shè)計(jì)，或者對(duì)生產(chǎn)的要求，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會(huì)成倍的增加。目前對(duì)一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境，不需要很高的潔凈度。