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預計明年投產!德智新材料半導體用碳化硅蝕刻環項目主體工程完工

發布時間:2022-06-14
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       SiC刻蝕環是半導體材料在等離子刻蝕環節中的關鍵耗材,在半導體芯片產業鏈上是一種不可或缺的重要材料。SiC刻蝕環對純度要求極高,因此只能采用CVD工藝進行生長SiC厚層塊體,隨后經精密加工而制得,主要用于半導體刻蝕工藝的制備環節。長期以來,圍繞半導體及其配套材料的發展一直是我國生產制造中的薄弱環節,但因其技術壁壘高,長期被美、日、德等國所壟斷,一直是被“卡脖子”的關鍵材料之一。

       湖南德智新材料有限公司董事長柴攀表示,此次半導體用碳化硅蝕刻環項目,總投資約2.5億元,主要用于半導體用碳化硅蝕刻環的研發、制造,投產后年產值超1億元。

       據了解,2018年,德智新材落戶動力谷自主創新園。隨后,其自主設計的國內最大化學氣相沉積設備完成調試投入使用。這個設備能在高溫、高真空環境下合成鏡面納米碳化硅涂層。目前,“德智新材”成為國內最大單晶太陽能生產企業——隆基股份等龍頭企業的供貨商,并與吉林大學、中南大學等知名高校建立長期合作關系。

       “該項目對于國內外的該產品領域來說,都有著一定的前瞻性和拓展性?!睒I內人士分析認為,此項目技術含量高、成長能力強、經濟效益好,對突破國外的技術封鎖,進一步推動國內半導體產業轉型升級、壯大株洲經濟規模具有十分重大的意義。


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